比推消息，英国《金融时报》称，华为正在更深地介入国产光刻机供应链，不仅投资相关设备和零部件公司，还在协调供应商、晶圆厂和整机厂商，推动国产 DUV 进入实际产线。Bernstein 分析师将华为形容为中国 DUV 项目的「项目管理者」。

进展最快的是上海宇量昇。该公司参与开发国产先进 DUV，设备已在中芯国际等晶圆厂和华为自己的产线上测试，计划今年底生产 12 台。现阶段主要先做较简单芯片，最终目标是用于先进 AI 芯片制造。

国产 DUV 目前还没有完全摆脱海外供应链。宇量昇使用的投影镜头仍来自德国 Zeiss，高功率光源也是主要瓶颈。华为已投资至期光子、科益虹源等公司，分别补国产镜头和光源。